초집적화의 추세에 따라 다방면으로 급격히 확산되고 있다. 저항가열식 진공증착방법은 고융점의 filament, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착시키는 방법이다. Thermal evaporator 의 작동원리 저항가열식 진공층착법 ( Resistive heating evaporation ) 진공층착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 방법은 박막제조법중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 20세기에 들어서는 자기기록산업이 발전함에 따라 통신산업의 급진전과 함께 자기기록매체용 자성재료들의 개발이 이루어졌고 최근에는 매우 다양한 분야에서 수요가 창출되고 있으므로 향후 21세기에는 자성재료의 응용이 20세기보다 훨씬 확산될 것으로 예상되고 있다.hwp (압축문서. , Ta 등으로, 화합물, 초집적화의 추세에 따라 다방면으로 적용되고 있다.. 제조된 박막재료는 금속, 사용범위는 소자의 소형화, 이 금속들의 박 또는 선을 적당한 형상으로 만들어 증발원으로 한 것으로 ......
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열증발에 관한 실험
열증발에 관련된 실험보고서입니다. 열증발레포트얌
저항가열식 진공증착법으로 제조할 수 있는 박막재료는 금속, 합금을 비롯 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하다. 이러한 재료로 산업분야로 응용을 함으로써 소자의 소형화, 경량화, 초집적화의 추세에 따라 다방면으로 적용되고 있다.
첨단산업을 예로 들면 자성재료와 반도체재료는 거의 모든 전자부품 및 기기에 필수적으로 소요되는 핵심전자재료로서 최근 전자통신산업, 우주항공산업, 생명과학산업 등과 같은 첨단 기술산업의 광범위한 영역에 걸쳐 여러 가지의 기능을 구현하기 위해 기술개발이 이루어지고 있는 산업전도용 재료이다. 20세기에 들어서는 자기기록산업이 발전함에 따라 통신산업의 급진전과 함께 자기기록매체용 자성재료들의 개발이 이루어졌고 최근에는 매우 다양한 분야에서 수요가 창출되고 있으므로 향후 21세기에는 자성재료의 응용이 20세기보다 훨씬 확산될 것으로 예상되고 있다.
이러한 자기기록장치들은 박막을 이용하여 초경량화와 집적화에 따른 고밀도화된 자기기록의 우수한 재생을 가능하게 하였는데 보다 정확하고 민감한 박막형태의 자기센서개발이 요구되고 있는 실정이다.
저항가열식 진공증착법으로 자성다층박막을 성장시켜 자기저항의 효과를 이용하여 기록매체의 자기정보를 해독할 수 있는 자기감지센서로서 이용할 수 있고, 또한 센서류 이외에도 기존의 이방성 자기저항재료인 퍼머로이박막에 비해 엄청나게 큰 자기저항을 가지므로 기록 밀도기술에 새로운 MR 자기헤드재료 및 MRAM ( magnetoresistive random access memory)등에의 응용을 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
Thermal evaporator 의 작동원리
저항가열식 진공층착법 ( Resistive heating evaporation )
진공층착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 방법은 박막제조법중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 원리는 간단하고, 진공중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착시키는 방법이다. 증발과정이 열교환과정이라는 점이 스파터링법과 다른 점이기는 하지만 이렇게 하여 만들어진 박막을 진공증착 박막이라 한다.
제조된 박막재료는 금속, 합금을 비롯 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하며, 사용범위는 소자의 소형화, 경량화, 초집적화의 추세에 따라 다방면으로 급격히 확산되고 있다.
진공증착 박막방법의 장점은
(1) 장치전체의 구성이 비교적 간단하다.
(2) 매우 많은 물질에 쉽게 적용할 수 있다.
(3) 박막이 될 수 있는 메카니즘이 비교적 단순하기 때문에 박막형성에 있어서 핵생 성이나 성장이론과의 대응을 하기 쉽다.
(4) 박막을 만들 때, 열적, 전기적 번잡함이 작기 때문에 박막형성시의 막의 물성연구 (insitu observation)에 적합하다.
(5) 열역학적으로 평형조건에서 되는 물질과 다른 결정구조를 지닌 물질이나 다른 성 분비를 지닌 화합물을 만들 수가 있다.
저항가열식 진공증착방법은 고융점의 filament, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로는 W, Mo, Ta 등으로, 이 금속들의 박 또는 선을 적당한 형상으로 만들어 증발원으로 한 것으로, 증착재료를 놓고 증발원에 전류를 흘려 가열하여 물질을 증발시키는 방법이다.
융점이 낮은 재료의 증착에 유리하며 증착속도는 filament에 공급하는 전류량을 조절함으로써 변화시킬 수 있으며, 증착재료의 source는 선(wire) 또는 작은 덩어리 상태로써 filament에 감거나 basket 또는 boat위에 놓고 양쪽의 전극을 통해 전류를 흘려주면 증착재료를 놓은 부위의 전기저항열이 최대가 되어 증착이 이루어진다.
증발원 재료를 증기압을 고려하여 선택함에 있어서 고려해야 할 것은 고온에서는 증발원의 재료와 박막재료가 어느 조합에 대해서 반응이나 확산을 일으켜 화합물이나 합금을 형성하는 문제이다
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